射频等离子系列 (RF/MF)
微波等离子系列 (MW)
大气辉光等离子系列(AP)
常压射流等离子系列(SP)
RIE-500EH等离子刻蚀机
ICP/RIE-200PA等离子去胶机
RIE-200EH等离子刻蚀机
等离子清洗机GDR-10PR
等离子清洗机GDR-10PM
等离子清洗机GDR-30PR
等离子清洗设备GDR-60PR
等离子清洗机GDR-100PR
等离子清洗机GDR-200LM
等离子清洗机GDR-200PR/M
