>> 产品特点 

    立式大型机，触摸电脑 PLC多步流程全自动控制，全电路检测，用于LCD、PCB、LED、太阳能电池等产业大批量清洗，进口配置。

>> 技术参数

 ◆ 外形尺寸(不包括报警灯)

    1450(W)?1100(D)?1850(H)mm

 ◆ 仓体结构(不锈钢，约400升)

    600(W)?840(D)?800(H)mm

 ◆ 电极面积

    530(W)?700(D)mm ，15层

 ◆ 等离子发生器(美国MKS)

    频率13.56MHZ,功率0-5000W连续调节,自动阻抗匹配,全电路保护,可连续长时间工作

 ◆ 控制系统

    触摸电脑 PLC全自动控制,采用欧姆龙、西门子等shijie著名品牌电器元件，性能稳定可靠,并具有手动、自动两种模式

 ◆ 真空系统(真空压力PID闭环自动控制)

    日本爱发科(ULVAC)机械真空泵 VDN901 (23L/S) （前级泵可选配爱德华干泵）

    英国爱德华罗茨泵  EH500(140L/S)        

    台湾气动真空角阀、充气阀、DN40不锈钢真空波纹管,德国英福康高精度真空计,传感器

 ◆ 充气系统

    美国AE高精度电子质量流量计(两路气体配制)、针阀

    美国世伟洛克气体管路及接口组件，德国双级减压阀

    日本SMC及CKD高真空气阀组件